SJT 31105-1994 DRS-Ⅱ840型激光修版机完好要求和检查评定方法
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ID： |
FA8CF586467F43438452E57E999800C7 |
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文件大小(MB)： |
0.27 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,DRS- 1 840型激光修版机完好要求,和检査评定方法,SJ/T 31105-94,主题内容与适用范围,本标准规定了 DRS- I 840型激光修版机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于集成电路制版用激光修版机,2完好要求,2.1 主要技术性能指标,2.1.1 几何精度,激光修版后的加工精度,通过Leitz公司的“电视测仪”测量后,进行尺寸精度评估,主要精度检测项目和检测方法,见表し,表1,序号检测项目,允 差,检测方法及检测器具备 注,出厂标准完好标准,1,工作台重复精度测量长度,〇.152mm,±0. 005,测量长度,0~ 152mm,±0. 006,将标准专用检测版,装在机器工作,台面上,并使工作台运动,其运动范,围为标准检测尺寸版所规定的更离,运用机床所配有的测量功能,校正检,测误差.,而后,装上修版并进行加工,用同,样方法检测，比较两者之间误差;,误差以测定的最大差值计.,2,工作台步进精度测量长度,〇.1252m,± 0, 010,测量长度,0~125/xtn,±0. 015,2.1.2 主要性能,激光修版机的性能,应能满足生产工艺要求,其主要性能指标必须达到以下要求,2.1.2.1 修补透明缺陷:,a.修补范围:2X22 .20X20*m2,b.激光功率:〇.300mW,c.激光波长：。.488*m,d.激光输出方式是脉冲式光束,连续式光束,e.计算机系统控制,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,1,SJ/T 31105-94,2.1.2.2 修补不透明缺陷,a.修补范围:2X2ftm2~25X25km2,b.激光能量:500〃J,c.激光波长:0. 532〃m,d.激光输岀方式:脉冲式光束,2.2 操作系统,各操作开关启动灵活,定位可靠、标志齐全,2.3 传动系统,2.3.1 X、Y导轨灵活可靠,X、Y工作台驱动正确平稳,2.3.2 上、下料工作台传动机构运动平稳,无冲击、无卡滞现象,2.3.3 ,驱动工作台运行平稳、可靠,2.4 光学系统,2.4.1 调整光斑曝光均匀性、激光强度调节器工作正常可靠,2.4.2 光学系统中移动部件运动准确,2.4.3 光学系统中各光学镜头、清洁、视场清晰,2.4.4 光学物镜镜头转换录活准确。调准装置移动灵活可靠,2.4.5 两种激光器的激光功率调节可靠,光栏调节正常可靠。各附件装置齐全,2.5 电气系统,2.5.1 电气箱内清洁、布线整齐、线路无老化破损现象。各种线路标志明显。连接可靠,2.5.2 电气线路板接触可靠,其它各种接触器动作灵敏可靠,2.5.3 自动联锁保护及报警装置齐全,工作可靠,2.5.4 各指示灯齐全完整,指示正确,各按钮开关灵活可靠,2.6 微机控制系统,2.6.1 各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠、控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好、显示清晰,2.6.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.6.3 输入/输出程序正确无误,2.6.4 装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.7 安全防护,2.7 .1安全防护装置齐全,性能可靠,2.7 -2设备接地可靠,标志明显,2.8维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 几何精度和工作精度按表1、表2所列方法检测;主要性能指标,运用相应检测器具测,定,3.1.2 对各系统完好要求所列内容,在设备现场,采用主观法检査,2,SJ/T 31105-94,3.2 评定方法,3. 2.1完好要求中,2.1各项和2. 7.1、2. 7. 2为主要项目,其余为次要项目,3.2.2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:浦纪良、顾军建,3……
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